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Anwendungsfälle/Anwendungsfall/Gravieren auf geneigter Fläche
Anwendungsfall · 3D Top-Hat

Robust gravieren und polieren über die Tiefe, auch auf einer geneigten Fläche.

Beim feinen Lasergravieren und -polieren entscheidet die Oberflächenqualität über alles. Sobald eine Struktur über mehrere Tiefen reicht, wird es schwer, diese Qualität zu halten, ohne mehrere Z-Positionen anzufahren — daran arbeitet die ganze Branche. Ein Flat-Top, das seine Form über die Schärfentiefe behält, erledigt das in einem einzigen Scan. Wie weit es trägt, haben wir mit unserem Partner LANG an einem absichtlich schweren Fall geprüft: eine 10 × 10 mm große Fläche, um ~8° geneigt, 1,34 mm Höhenunterschied. In einem Durchgang blieb eine weit größere Fläche innerhalb der Spezifikation.

Produkt: 3D Top-Hat Anwendung: Gravieren & Polieren Aufbau: F100 mm · 1030 nm · fs Partner: LANG
Herausforderung
  • Feines Gravieren und Polieren braucht hohe Oberflächenqualität über Strukturen, die auf verschiedenen Tiefen liegen — am besten in einem Scan, ohne auf mehrere Z-Positionen nachzufokussieren
  • Ein konventionelles Top-Hat hält die Spezifikation nur in einem kleinen Fokusfenster; alles außerhalb der Fokusebene fällt heraus
  • Der Prüffall: eine 10 × 10 mm große, um ~8° geneigte Fläche (1,34 mm Höhenunterschied) als kontrollierter Stellvertreter für diese Tiefenspreizung, auf einem Scanner mit F100 mm bei 1030 nm und fs-Pulsen
Ergebnis
  • >3× größeres Prozessfenster — ein deutlich größerer stabiler Bereich über die Neigung
  • >2× bessere Oberflächenqualität — Sa 0,4 µm gegenüber 0,9 µm, Sz 2,6 µm gegenüber 5,8 µm
  • Polierter Z-Bereich ~530 µm gegenüber ~180 µm beim Standard-Top-Hat
Robuste Bearbeitung unter Produktionsbedingungen: das geneigte Teil bleibt über eine weit größere Fläche in Spezifikation, mit sichtbar feinerer Politur.
Aufbau & Bedingungen: Gravieren und Polieren auf geneigter Fläche mit LANG; 10 × 10 mm, 1,34 mm Höhenunterschied, F100 mm, 1030 nm, fs.
3D Top-Hat gegen Standard-Top-Hat am selben geneigten Teil: das polierte Band innerhalb der Spezifikation (OK) ist beim 3D Top-Hat weit größerZwei Fotos derselben geneigten, gravierten Fläche im Vergleich: mit dem 3D Top-Hat ist ein breites Band in der Mitte poliert und als OK markiert, mit einem Standard-2D-Top-Hat liegt nur ein schmales Band an der Position z0 in Spezifikation
3D Top-Hat gegen Standard-Top-Hat

Die Zahlen auf der geneigten Fläche

>3× Prozessfenster

Polierter Z-Bereich ~530 µm gegenüber ~180 µm beim Standard-Top-Hat, ein weit größerer stabiler Bereich über die Neigung.

>2× Oberflächenqualität

Rauheit Sa 0,4 µm statt 0,9 µm und Sz 2,6 µm statt 5,8 µm, eine messbar feinere Politur.

Robust in der Produktion

Dasselbe Rezept trägt über den Höhenunterschied eines geneigten Teils: weniger Wiederholläufe, besser vorhersagbare Qualität.

Gemessen mit LANG an einem Teil von 10 × 10 mm mit 1,34 mm Höhenunterschied. Die Werte sind konfigurationsabhängig und werden pro Setup bestätigt.

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