Robust gravieren und polieren über die Tiefe, auch auf einer geneigten Fläche.
Beim feinen Lasergravieren und -polieren entscheidet die Oberflächenqualität über alles. Sobald eine Struktur über mehrere Tiefen reicht, wird es schwer, diese Qualität zu halten, ohne mehrere Z-Positionen anzufahren — daran arbeitet die ganze Branche. Ein Flat-Top, das seine Form über die Schärfentiefe behält, erledigt das in einem einzigen Scan. Wie weit es trägt, haben wir mit unserem Partner LANG an einem absichtlich schweren Fall geprüft: eine 10 × 10 mm große Fläche, um ~8° geneigt, 1,34 mm Höhenunterschied. In einem Durchgang blieb eine weit größere Fläche innerhalb der Spezifikation.
- Feines Gravieren und Polieren braucht hohe Oberflächenqualität über Strukturen, die auf verschiedenen Tiefen liegen — am besten in einem Scan, ohne auf mehrere Z-Positionen nachzufokussieren
- Ein konventionelles Top-Hat hält die Spezifikation nur in einem kleinen Fokusfenster; alles außerhalb der Fokusebene fällt heraus
- Der Prüffall: eine 10 × 10 mm große, um ~8° geneigte Fläche (1,34 mm Höhenunterschied) als kontrollierter Stellvertreter für diese Tiefenspreizung, auf einem Scanner mit F100 mm bei 1030 nm und fs-Pulsen
- >3× größeres Prozessfenster — ein deutlich größerer stabiler Bereich über die Neigung
- >2× bessere Oberflächenqualität — Sa 0,4 µm gegenüber 0,9 µm, Sz 2,6 µm gegenüber 5,8 µm
- Polierter Z-Bereich ~530 µm gegenüber ~180 µm beim Standard-Top-Hat

Die Zahlen auf der geneigten Fläche
>3× Prozessfenster
Polierter Z-Bereich ~530 µm gegenüber ~180 µm beim Standard-Top-Hat, ein weit größerer stabiler Bereich über die Neigung.
>2× Oberflächenqualität
Rauheit Sa 0,4 µm statt 0,9 µm und Sz 2,6 µm statt 5,8 µm, eine messbar feinere Politur.
Robust in der Produktion
Dasselbe Rezept trägt über den Höhenunterschied eines geneigten Teils: weniger Wiederholläufe, besser vorhersagbare Qualität.
Gemessen mit LANG an einem Teil von 10 × 10 mm mit 1,34 mm Höhenunterschied. Die Werte sind konfigurationsabhängig und werden pro Setup bestätigt.
Produkt und weitere Anwendungsfälle
Präzisions-Mikrobearbeitung
Ebenere Böden und sauberere Wände als beim Gauß-Profil.
Anwendungsfall lesen →Ähnliche Aufgabe beim Gravieren?
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