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Technologie der Strahlformung

So einfach wie ein Spiegel, so wirksam wie ein optisches System

Wir nehmen einen hochwertigen Laserspiegel und mikrostrukturieren ihn: Die Reflexion formt den Strahl. Diese Reflexion gibt es in Ihrem Strahlengang schon, das System bekommt also nichts Neues dazu — ein Spiegel raus, ein Spiegel rein.

266–1100 nmCW bis 200 fs · bis Multi-kWVerfahren und Produkt patentiert
Ein Midel Beam Shaper: ein runder Spiegel, dessen hochreflektive Beschichtung eine konzentrische Mikrostruktur trägt, mit der am Rand eingravierten Teilenummer
Was es ist

Ein Spiegel mit mikrostrukturierter Oberfläche

Er sitzt im kollimierten Abschnitt Ihres Strahlengangs, vor der Fokussieroptik. In den meisten Systemen nimmt er den Platz eines Umlenkspiegels ein, der ohnehin schon da ist.

Durch die Mikrostrukturierung können wir die Phase des Laserlichts mit hoher Präzision modulieren. Die Phase ist der entscheidende Punkt. Eine Apertur oder eine Amplitudenmaske formt einen Strahl, indem sie ausblendet, was Sie nicht haben wollen — und die verlorenen Photonen bezahlen Sie. Ein Phasenelement nimmt kein Licht weg, es lenkt es um. Die Struktur verändert die Wellenfront, und im Fokus der folgenden Linse interferiert das Licht zur Zielform. Nichts wird ausgeblendet, also landet der Großteil der Energie auf dem Werkstück und nicht in einem Beam Dump. Wie groß dieser Anteil genau ist, hängt vom Design ab; siehe „Effizienz in das Zielprofil“ weiter unten.

Er wandelt den einfallenden Strahl in das Profil, das der Prozess braucht: einen Flat-Top, einen Ring, eine Anordnung von Spots oder ein Profil, das über die Tiefe stabil bleibt. Nichts bewegt sich. Es gibt nichts zu versorgen und nichts zu regeln. Und weil die Formung bei der Reflexion passiert, tritt der Strahl nie in ein Volumenmaterial ein: kein Absorptionsweg, keine thermische Linse, die beherrscht werden muss.

Seitenansicht des Strahlengangs: ein kollimierter Gauß-Strahl trifft unter 45 Grad auf einen Midel Beam Shaper, verlässt ihn weiterhin nahezu gaußförmig, weil sich nur die Phase geändert hat, passiert die im System bereits vorhandene Fokussieroptik und bildet im Fokus einen Flat-Top
Wo die Form tatsächlich entsteht. Die Struktur auf dem Spiegel verändert die Wellenfront, nicht die Intensität — das Profil, das die Optik verlässt, ist also weiterhin nahezu gaußförmig. Der Flat-Top entsteht im Fokus der Linse, die Sie schon haben. Die Struktur ist weit grober gezeichnet, als sie ist, sonst wäre sie in dieser Größe nicht zu erkennen.

Für die Optik-Fachleute: Es ist ein kontinuierliches diffraktives optisches Element, das in Reflexion arbeitet.

Kontinuierlich statt in diskrete Phasenstufen zerlegt, und reflektiv statt transmissiv. Beides folgt daraus, wie es hergestellt wird — das ist der nächste Abschnitt.

Zwei Zahlen, die wir bewusst auseinanderhalten. Die Beschichtung gibt bei den Standard-Wellenlängen im NIR, im Grünen und im UV >99,9 % des Lichts zurück. Die Effizienz in die Zielform ist eine andere Größe, und die geben wir pro Design an. Was „kontinuierlich“ Ihnen bringt, steckt in der zweiten: Eine gestufte Oberfläche nähert die Zielphase nur an, und der Näherungsfehler geht in höhere Ordnungen. Ohne Stufen gibt es diesen Fehler nicht.

Mikro-Delamination

Wie wir ihn herstellen

Strukturiertes Licht + hochreflektives Substrat = reflektiver Beam Shaper

Ein hochreflektiver Spiegelrohling Derselbe Spiegel nach dem Strukturieren, seine Oberfläche trägt nun ein strahlformendes Profil Ein vergrößerter Ausschnitt der geschriebenen Mikrostruktur
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Ein vollständig beschichteter Laserspiegel

Quarzglas, dielektrische hochreflektive Beschichtung.

  • Beschichtungen aus Europa, von Lieferanten, die für Hochleistungs-Laseroptik qualifiziert sind
  • Hohe Zerstörschwellen, die aus der vollständigen dielektrischen Beschichtung kommen und aus nichts, was wir ihr hinzufügen
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Einzigartiges direktes Laserschreiben

Die Mikro-Delamination schreibt die Struktur direkt in den Spiegel. Keine Maske, keine Lithografie, kein Ätzen, keine zusätzliche Schicht.

  • Keine Maske, kein Werkzeug: Jede Optik wird für Ihr Zielprofil und Ihren Strahlengang gerechnet. Nichts kommt aus dem Katalog
  • Ein Tag Fertigung für einen einzigen Prozessschritt, statt Monate Vorlauf für eine Maske oder einen zweiten Beschichtungslauf
  • Das Design ist eine Datei: Es gibt keine Mindestmenge, und für die nächste Charge entsteht dieselbe Oberfläche unverändert wieder
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Ein vollreflektiver Beam Shaper

Modulationstiefe etwa halbe Arbeitswellenlänge, transversale Strukturen wenige Mikrometer breit. Der Spiegel trägt jetzt Ihr eigenes Strahlprofil.

Wie schaffen wir einen vollreflektiven Beam Shaper so schnell? Die meisten vermuten, wir nehmen etwas vom Spiegel weg oder setzen etwas darauf. In beiden Fällen ist die Beschichtung danach keine fertige Spiegelbeschichtung mehr: Wer sie ätzt oder abträgt, verliert Reflektivität und Leistungsverträglichkeit genau dort, wo der Strahl auftrifft. Wer sie abdeckt, macht ein zweites Material zur optischen Oberfläche. Wir tun keines von beidem: Wir strukturieren das Volumen zwischen Substrat und Beschichtung im Nanometerbereich und lassen die Beschichtung genau so, wie sie ist. Die optische Qualität, die Sie von einem hochreflektiven Laserspiegel erwarten, bleibt erhalten.

Seitenansicht eines subtraktiv strukturierten Spiegels: Von der reflektierenden Beschichtung ist oben eine sanft variierende Menge weggeätzt, der Schichtstapel ist dadurch geöffnet
SubtraktivDer Weg, den man erwartet, und nicht unserer. Die Struktur wird in die Beschichtung geätzt oder abgetragen. Material verschwindet, und der Schichtstapel ist dort geöffnet, wo die Struktur sitzt. Das würde Reflektivität und Zerstörschwelle beeinträchtigen.
Seitenansicht eines additiv strukturierten Spiegels: Die reflektierende Beschichtung bleibt unversehrt, darauf liegt ein Polymer mit sanft variierender Dicke
AdditivEbenfalls erwartet, ebenfalls nicht unserer. Die Struktur wird als Polymer oben aufgeschrieben. Die Beschichtung bleibt unversehrt, aber ein zweites Material bildet nun die optische Oberfläche. Auch das würde Reflektivität und Zerstörschwelle beeinträchtigen.
Seitenansicht eines Midel Spiegels, strukturiert durch Mikro-Delamination: Zwischen Substrat und Beschichtung ist Volumen entlang einer sanft variierenden Höhe angehoben, die dünnen Schichten folgen ihm verformt, aber ungebrochen
Unser WegMikro-DelaminationZwischen Substrat und HR-Beschichtung wird das Volumen auf nanoskopischer Ebene angehoben. Das genügt, um den Strahl zu formen, während die vollständige hochreflektive Beschichtung erhalten bleibt: Die Optik behält die Reflektivität, die Zerstörschwelle und die Lebensdauer, die Sie von einem hochwertigen Laserspiegel erwarten. Darstellung nicht maßstäblich.

Die Mikro-Delamination ist unser eigenes Direktschreibverfahren. Verfahren und die daraus entstehende Optik sind patentiert, erteilt in allen großen Lasermärkten in Europa, Nordamerika und Asien.

Kompatibilität

Mit welchen Lasern es funktioniert

Der abgedeckte Wellenlängenbereich von 266 bis 1100 Nanometern als Spektrum. Standardwellenlängen, typischerweise vorrätig, sind 266 nm, 343 und 355 nm, 450 nm, 515 und 532 nm sowie 1030 und 1064 nm. Jede andere Wellenlänge im Bereich auf Anfrage. 2 Mikrometer in Vorbereitung, CO2 bei 10,6 Mikrometern nicht im Angebot.
Der Bereich ist durchgehend: Jede Wellenlänge darin lässt sich auslegen. Die markierten Linien halten wir als Standard, sie sind der schnellste und günstigste Weg zum ersten Teil.
Parameter Arbeitsbereich
Pulsregime Von Dauerstrich bis Ultrakurzpuls, bis herunter zu 200 fs
Leistung Von geringer Leistung bis in den Multi-Kilowatt-Bereich
Strahlqualität Ihre Wahl. M² = 1,0 bis hoch multimodig, M² > 50
Das Bauteil

Substrat, Beschichtung, Format, Apertur

Parameter Spezifikation
Substrat Quarzglas
Oberfläche Mikrostrukturierte dielektrische hochreflektive Beschichtung
Reflektivität >99,9 % bei 1064/1032, 532/515 und 355/343 nm · >99,8 % bei 266 nm
Standardformate Ø25 mm (1″) und Ø50 mm (2″), rund. Andere Durchmesser und Geometrien auf Anfrage.
Eingangsstrahldurchmesser, Ø25 mm (1") Bis 9 mm (1/e²) bei 45° Einfallswinkel. Auf Ihren Strahl abgestimmt, ±5 %.
Eingangsstrahldurchmesser, Ø50 mm (2") Bis 18 mm (1/e²) bei 45° Einfallswinkel. Auf Ihren Strahl abgestimmt, ±5 %. Größere Strahlen auf Anfrage.
Freie Apertur Optimal ist ≥ 2× Strahldurchmesser (1/e²). Wir können das Design auch auf eine kleinere Apertur hin anpassen und optimieren.
Einfallswinkel Auf einen nominalen Einfallswinkel (AOI) ausgelegt, typisch 45°. Toleranz ±1°.
Effizienz in das Zielprofil Designabhängig. Bei Flat-Top-Designs >90 % bei 1,5× des Gauß-Spots und >95 % bei 2–10×. Wird pro Design angegeben.
Leistungsverträglichkeit

Zerstörschwellen

Unsere Optiken halten sehr hohe Leistungen aus. Die Zerstörschwellen unten haben wir mit externen Partnern gemessen und verifiziert, jeweils unter den angegebenen Bedingungen.

Regime Schwelle und Bedingungen
CW-Betrieb
IPG YLS6000-U Faserlaser
CW bei 1 µm: Bis 30 MW/cm², gemessen als T(30sec)-on-1 nach ISO 21254-2 von Lidaris, einem unabhängigen Prüflabor für LIDT
Ultrakurzpuls-Betrieb
Light Conversion Pharos SP
180 fs bei 343 nm: Bis 235 mJ/cm², gemessen als S(1000)-on-1 nach ISO 21254-2 von Lidaris, einem unabhängigen Prüflabor für LIDT
Kurzpuls-Betrieb
Trumpf TruMicro 8340
Im Betrieb gezeigt bei 400 W UV, 343 nm, 18 ns, 40 mJ, in Zusammenarbeit mit der Universität Duisburg-Essen, Gruppe Prof. Barcikowski.
Anforderungen und Grenzen

Was es von Ihrem System braucht, und was es nicht kann

Das meiste ist zu prüfen, nicht zu befürchten; wo ein Punkt wirklich ausschließt, sagen wir es im ersten Gespräch. Alles davon ist jetzt günstiger zu klären als dann, wenn das erste Teil auf Ihrem Tisch liegt.

Es braucht einen kollimierten Abschnitt

Er gehört dorthin, wo der Strahl parallel läuft und einen definierten Durchmesser hat, vor der Fokussieroptik. Fehlt dieser Abschnitt, wird es ein Konstruktionsgespräch und kein Bauteiltausch.

Lateral ausrichten ist Pflicht

Montiert wird er wie ein Spiegel, ausgerichtet wie eine Optik. Zu jedem Element gehört die Anleitung, und bei Ihrer ersten Integration bleiben wir eng dabei.

Ein Design ist ein Arbeitspunkt

Eine Wellenlänge, ein Eingangsdurchmesser, ein Zielprofil, eine Orientierung; zwei Wellenlängen in einem Strahlengang heißen zwei Optiken. Ändert sich einer davon, ist es ein neues Bauteil, keine Einstellung.

Das Profil ist fest

Eine passive Optik: kein Aktor, kein Regelkreis. Muss Ihr Prozess das Profil im Lauf umschalten, ist das die falsche Technologie — und das sagen wir Ihnen früh.

Der Ablenkwinkel hat eine Obergrenze

Das Direktschreiben begrenzt, wie fein die Struktur lateral wird, und damit den größten Ablenkwinkel. Soll ein Zielprofil sehr viel größer als der natürliche Fokus werden oder liegen Teilspots weit auseinander, reichen geätzte DOE weiter.

Nicht alles Licht landet in der Form

Die Effizienz ins Zielprofil geben wir pro Design an. Der Rest wird nicht ausgeblendet und nicht vernichtet: er bleibt im Strahl, als niedriger Untergrund um die Form.

Nächster Schritt

Was wir für einen Fit-Check brauchen

Vier Angaben genügen für ein Ja oder Nein. Alles Weitere hilft, ist für den Start aber nicht nötig.

  • Der Laser: Wellenlänge, CW oder gepulst, mittlere Leistung, bei gepulstem Betrieb Pulsenergie und Pulsdauer
  • Der Strahl: kollimierter Durchmesser und wie er definiert ist (1/e², FWHM), dazu M² oder BPP
  • Der optische Aufbau: Eine Skizze reicht. Was zwischen Quelle und Werkstück sitzt, Brennweite, Arbeitsabstand, Einfallswinkel
  • Das gewünschte Profil: Form, Größe und über welche Arbeitsebene oder welchen Tiefenbereich es halten muss
FAQ

Häufige Fragen

Worin unterscheidet sich das von einem üblichen geätzten DOE?
Zwei Punkte. Es ist reflektiv, der Strahl läuft also nie durch ein Volumenmaterial: kein Absorptionsweg, keine thermische Linse, und genau deshalb sind UV und hohe mittlere Leistung machbar. Und das Oberflächenprofil ist stetig statt in diskrete Phasenstufen zerlegt; das erlaubt das Direktschreiben. Transmissive geätzte DOEs sind nicht durchweg schlechter: Sie sind leichter zu montieren und können bei kleiner Leistung günstiger sein. Bei UV, bei hoher mittlerer Leistung und mit Ultrakurzpulsen hält die reflektive Variante.
Funktioniert es mit meiner Wellenlänge und meinem Lasertyp?
Sehr wahrscheinlich. NIR (1030 / 1064 nm), Grün (515 / 532 nm), Blau (450 nm), UV (343 / 355 nm) und DUV (266 nm) sind Standard, und alles zwischen 266–1100 nm ist auf Anfrage möglich. Von Single-Mode bis hoch multimodig. Den vollen Bereich finden Sie oben unter Mit welchen Lasern es funktioniert. Senden Sie uns Ihre exakte Wellenlänge, Leistung und Pulsregime, M² und den kollimierten Strahldurchmesser, dann bestätigen wir den Fit.
Wie integriere ich es in eine bestehende Maschine?
Mechanisch nimmt es in den meisten Systemen den Platz eines Umlenkspiegels ein, der in Ihrem kollimierten Strahlengang schon steht; ausgerichtet werden muss es optisch trotzdem, und die Details dazu stehen unter Anforderungen und Grenzen. Zu jedem Element gehört eine Anleitung, die das Ausrichten Schritt für Schritt beschreibt, und durch die erste Integration begleiten wir Sie. Schicken Sie uns Ihren Aufbau, dann bestätigen wir, was sich ändert, falls überhaupt etwas.
Senkt das Strukturieren die Zerstörschwelle?
Nein. Gegen den unstrukturierten Spiegel aus demselben Beschichtungslauf gemessen, erreichte der strukturierte Beam Shaper dieselbe Schwelle: 235 mJ/cm² bei 180 fs und 343 nm, S(1000)-on-1 nach ISO 21254-2. Werte und Bedingungen stehen oben unter Zerstörschwellen.
Skaliert das auf einige hundert Stück pro Jahr?
Ja. Die Optik wird einmal gegen Ihre Anwendungsspezifikation ausgelegt und dann unverändert in Menge reproduziert. Das Design ist eine Datei, die Reproduktion ist damit der einfache Teil. Lieferzeit und Stückkosten bestätigen wir pro Programm, sobald der Designumfang klar ist. Wir nennen Ihnen lieber einen Termin, den wir halten können, als eine Katalogzahl.

Wollen Sie wissen, ob das zu Ihrem Prozess passt?

Senden Sie uns Ihren Laser und das gewünschte Strahlprofil. Wir prüfen die Machbarkeit und bestätigen den Fit für genau Ihre Konfiguration.

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